本发明涉及半导体制造技术领域,尤其是涉及一种基于压力测量模块的原子层沉积设备。所述原子层沉积设备,包括真空部件、加热部件、气路部件、等离子体产生部件、控制部件和沉积室;沉积室内设有压力测量模块,压力测
发布时间: 2013-04-17
本发明提供了一种水性聚氨酯胶粘剂,包括具有式(I)结构的聚氨酯;本发明还提供了一种水性聚氨酯胶粘剂的制备方法。本发明提供的聚氨酯是由具有式(II)结构的聚(碳酸酯-醚)二元醇和三羟甲基丙烷、二异氰酸酯
发布时间: 2013-04-17
本发明提供一种基于新型存储器的固态硬盘内部缓存管理方法及系统,所述管理系统包括SATA接口控制器、微处理器、DRAM内存、本地总线、闪存控制器、及NAND闪存,所述固态硬盘内部管理系统中还包括PCRA
发布时间: 2013-04-17
本发明涉及传感器技术类,更具体地说,它涉及一种能自动抑制环境温度、光源强度变化干扰的用于监测声波的光纤传感器。目的是提供一种具有新型结构、能有效抑制外界温度和光源强度变化的干扰的双探头补偿式光纤声发射
发布时间: 2013-04-17
一种对移相干涉仪随机误差模态的评估方法属于干涉仪误差的评估领域,该方法包括如下步骤:测试过程中引入一定的倾斜量,多次测量结果的平均值作为参考值,取其中一次测试结果减去参考值,获得其中一次测试结果的随机
发布时间: 2013-04-17
一种能自动调压的干式真空泵控制方法,测量从大气压到真空状态时真空腔体的真空度参数,比较目标真空度参数与已存的真空度参数,读取频率信号,使真空腔体达到频率信号下的真空度,通过循环逼近过程,完成闭环控制。
发布时间: 2013-04-17
本发明涉及半导体制造技术领域,尤其是涉及一种防回流的原子层沉积设备。所述原子层沉积设备,包括真空部件、加热部件、气路部件、等离子体产生部件、控制部件和沉积室;气路部件包括第一管道和第二管道,第一管道和
发布时间: 2013-04-17
本发明公开了与流感病毒复制相关的长链非编码核酸片段以及它们的应用。本发明提供的shRNA,其生成siRNA,所述siRNA为双链RNA,如序列表的序列11或序列13所示。所述shRNA具体可如序列表的
发布时间: 2013-04-17
本发明涉及一种用于锂硫电池正极材料的碳硫复合物及其制备方法,碳硫复合物包括碳材料和单质硫,其中碳材料由孔径2-5nm介孔碳和孔径30-70nm的导电碳掺杂而成、且孔径30-70nm的导电碳中含有0.5
发布时间: 2013-04-17
本发明提供一种用于相变存储器的相变材料,所述相变材料由Al,Sb,Te元素组成的通式为Al100-x-ySbxTey的材料,其中,40≤x<100,y<60。本发明提供的Al-Sb-Te系列相变材料作
发布时间: 2013-04-17