本申请涉及半导体学中的集成电路光刻领域，公开了一种极紫外光刻掩模缺陷检测系统，包括：极紫外光源、极紫外光传输部分、极紫外光刻掩模、光子筛、采集及分析系统。所述极紫外光源发出的点光源光束经过所述极紫外光
发布时间： 2013-10-23
本发明公开了一种卫星导航定位系统中倍增定位精度的方法，该方法中，卫星导航定位系统中每颗导航卫星通过多个载波频点下行伪随机噪声码、导航电文和广域增强信息，用户终端通过多个载波频点同时单独测量并改正导航卫
发布时间： 2013-10-23
一种太赫兹波探测装置，包括：放置待检测样品的样品台，置于第一离轴椭圆面镜和第二离轴椭圆面镜的公共焦点；太赫兹波辐射源，置于所述第一离轴椭圆面镜的另一个焦点上，用于发出太赫兹波；第一离轴椭圆面镜，用于将
发布时间： 2013-10-23
本发明公开了一种极紫外辐照材料测试系统，EUV光源室用于容纳EUV光源，EUV光源用于辐射出宽谱近软X射线；滤波片室用于放置滤波片，滤波片用于将宽谱近软X射线滤波成窄谱EUV辐照；收集镜室用于放置收集
发布时间： 2013-10-23
本发明提供一种用于传感器网络的对目标跟踪方法进行动态切换的方法。该方法首先由信息融合节点基于来自目标跟踪节点的目标状态信息来对运动目标的下一个位置的预测值和实际测量值之间误差的进行估计，以得到动态切换
发布时间： 2013-10-23
本发明提供了一种光栅分布反馈量子级联激光器。该光栅分布式量子级联激光器包括：衬底；以及在该衬底上依次生长的下波导层，下光限制层，有源区，上光限制层，等效相移光栅，上波导层；其中，在所述上光限制层的上表
发布时间： 2013-10-23
本发明公开了一种宽带可变增益放大器，包括跨导放大电路、可变电流增益电路和跨阻放大电路；且可变电流增益电路的第一输入端与跨导放大电路的第一输出端相连，第二输入端与跨导放大电路的第二输出端相连，第一输出端
发布时间： 2013-10-23
本发明公开了一种半导体激光器有源区，所述有源区包括量子阱结构，所述量子阱结构中势阱层的材料为GaNmAs1-m-nBin，所述量子阱结构中势垒层的材料为GaNxAs1-x-yBiy，其中m=0.010
发布时间： 2013-10-23
本发明公开了一种多波长激光切换输出装置，其包括：基频激光源，其用于产生基频光；多个倍频装置，其用于产生多倍频光；多个电光装置，其在电压控制下旋转光的偏振方向；多个偏振片，其用于对预定偏振方向的光高反射
发布时间： 2013-10-23
本发明提供一种集成宽频带天线及其制作方法，通过在Si衬底上制作接地平面，在接地平面上制作具有流动性的有机介电材料并固化作为天线的基板，在该基板上制作天线图形，并在天线图形对应的区域刻蚀所述Si衬底形成
发布时间： 2013-10-23