用于极紫外光刻的类临界照明系统属于极紫外光刻系统中的临界照明系统领域,该系统包括聚光系统、中继系统、光刻系统真空箱体和波纹管,聚光系统包括光源、聚光主镜、聚光系统次镜、去屑系统和聚光系统真空箱体,去屑
发布时间: 2015-04-01
本发明涉及一种反射式数字成像系统的设计方法,实现步骤如下:反射式数字成像系统的光学像差有离焦、畸变、像散、慧差、场曲、球差、场曲,本发明把光学设计和数字处理一起来进行优化来校正这些像差,对不易于用数字
发布时间: 2015-04-01
一种磁-声多场耦合成像实验装置,其超声模块既是超声接收装置,也是超声发射装置。其电子学模块包括线圈(5)、激励电路、信号处理与采集电路和运动控制系统,用于线圈激励和微弱电信号的采集。机械模块包括置物台
发布时间: 2015-04-01
本发明提供了一种适用于非均匀运动水体的地震正演模拟方法,该方法首先获取海水和地层中的相关数据、观测系统和震源参数;接着从质量守恒方程、欧拉方程和绝热状态方程出发,利用渐进方法和基于海水实际情况的适当假
发布时间: 2015-04-01
本发明提供一种特别适用于大发散角宽尺寸光源的准直光学元件的设计结构,能够避免将宽尺寸光源近似为点光源导致准直透镜的误差。针对二维光源光场E(y,z),设光轴为z轴,传输平面y-z;光场传输过程中,在光
发布时间: 2015-04-01
本发明涉及一种GNSS三频精密单点定位模糊度固定方法,属于卫星导航定位技术领域。该方法基于IGS提供的精密卫星星历与钟差以及网络解算的相位延迟改正,利用三频伪距与载波相位观测值实现精密单点定位的解算方
发布时间: 2015-04-01
臂式空间天文望远镜的惯性指向控制方法及控制系统,涉及工业自动化领域,解决了现有臂式空间天文望远镜惯性指向的控制方法存在的惯性指向控制精度低的问题。该控制系统包括控制器;与控制器电连接的望远镜惯性位置传
发布时间: 2015-04-01
一种基于全光交叉偏振调制效应的空间方向角测量系统,包括:与第一激光源连接的第一马赫增德尔强度调制器和偏振控制器;与第二激光源连接的第二马赫增德尔强度调制器和偏振控制器;与微波信号源连接的电耦合器和微波
发布时间: 2015-04-01
本发明公开了电子-核双共振谐振器,包括裂隙腔和细长导线;裂隙腔由若干个弧形导板构成,细长导线将弧形导体连接成射频线圈;裂隙腔谐振于电子共振频率,射频线圈谐振于原子核共振频率;使用裂隙腔结构能够促使电磁
发布时间: 2015-04-01
本发明涉及一种GNSS组合精密单点定位方法,属于卫星导航定位技术领域。该方法基于GNSS网络解算的精密卫星星历与钟差以及电离层格网延迟改正,利用非差GNSS伪距与载波相位观测值,并结合赫尔默特方差估计
发布时间: 2015-04-01