本发明涉及等离子刻蚀、淀积设备技术领域，具体涉及一种应用于等离子刻蚀、淀积设备的进气结构中的匀气盘。所述用于进气结构的匀气盘上分布若干小孔，所述小孔从所述匀气盘的中心到边缘按照由密到疏、由疏到密或由密
发布时间： 2012-05-02
本发明提供一种抗总剂量辐射加固深亚微米器件的版图结构，包括具有源区、漏区及沟道区的有源区、位于所述有源区四周侧的浅沟道隔离槽、位于所述沟道区上且采用双边缘超出有源区结构的栅区、以及两个虚设浅沟道隔离槽
发布时间： 2012-05-02
一种线宽测量方法，包括：提供基底，所述基底的表面上形成有凸起的带线图案，所述带线图案具有宽度；在所述带线图案的宽度方向的两侧侧壁上分别形成第一测量结构和第二测量结构；去除所述带线图案；测量所述第一测量
发布时间： 2012-05-02
本发明公开了一种机载大气痕量气体二维分布快速监测系统，包括有成像光谱仪，所述的成像光谱仪外接控制单元，所述的成像光谱仪内设有光学接收系统、CCD探测器，光学接收系统包括有安装于成像光谱仪壳体上的紫外镜
发布时间： 2012-05-02
一种地表径流泥沙样品分段采集装置，它涉及一种用于地表径流的泥沙含量过程观测的采集装置，以解决现有可移动式地表径流观测装置存在只能观测泥沙总量而不能实现输沙过程观测的问题。翻斗固装在主传动轴上，主传动轴
发布时间： 2012-05-02
本发明涉及半导体技术领域，特别是一种适用于 AlGaN/GaN HEMT器件的新型欧姆接触Al/Ti/Al/Ni/Au的合金 系统。新型结构的欧姆接触Al/Ti/Al/Ni/Au，具有很大的工艺 宽容
发布时间： 2006-02-15
本发明公开了一种产生音频调制THz波的方法和装置，适用于未来的THz通信应用。该方法采用太赫兹量子级联激光器作为辐射源，对其进行强度调制，将音频信号加载到THz波上。该装置包括：作为辐射源的太赫兹量子
发布时间： 2012-03-28
本发明公开了一种海胆状纳米铜颗粒的制备方法，具有以下步骤：以亚铜盐化合物为前躯体原料，以水合肼为还原剂，分别加入表面活性剂和分散剂，并以卤化物作为矿化剂，在碱性条件下通过水热还原反应后，将所得产物离心
发布时间： 2012-03-28
本发明公开一种冠酮素Coronalon的化学全合成制备新方法。它是由乙基苯与丁二酸酐反应生成4-(4-乙基苯)-4-羰基-丁酸，4-(4-乙基苯)-4-羰基-丁酸用水合肼还原得4-(4-乙基苯)-丁酸
发布时间： 2012-05-02
本发明涉及一种复合型汞离子吸附剂及其制备方法，该吸附剂由壳聚糖、聚乙烯醇和黏土组成，通过高速搅拌使聚乙烯醇高分子链与壳聚糖高分子链相互穿插、缠绕，使无机黏土充分分散，采用戊二醛交联剂交联和冷冻交联相结
发布时间： 2012-05-02