一种制备极短栅长体硅围栅MOSFETs的方法

一种制备体硅围栅纳米线MOSFETs的方法:局部氧化隔离或浅槽隔离,在体硅上垫积三层介质膜(缓冲SiO2氧化层/SiN/氧化物介质层),电子束曝光,刻蚀凹槽和fin,垫积SiN侧墙,各向同性刻蚀Si,

发布时间: 2011-06-22

一种气体灭火剂浓度测试装置及其测试方法

本发明公开了一种气体灭火剂浓度测试装置及其测试方法,其将气体过滤器、加热控温、流量控制、浓度测试、数据处理模块与串口通讯模块组装在一个机箱内,机箱前端为进气口,后端连接真空泵,通过串口实现与计算机的通

发布时间: 2012-07-11

一种MQ硅树脂改性丙烯酸酯类杂化材料及其制法与应用

本发明公开了一种MQ硅树脂改性丙烯酸酯类杂化材料及其制备方法与应用,该杂化材料是由100份丙烯酸酯类单体或其聚合物与5-100份MQ硅树脂在本体中或在分散介质中混合均匀后,经热引发聚合反应或光引发聚合

发布时间: 2012-07-11

一种通信资源分配方法及相关设备

本发明实施例公开了通信资源分配方法及相关设备,其中,基于本发明实施例提供的通信资源分配方法,网络节点在监听邻居节点发送的媒介访问控制消息时,根据该邻居节点的收发状态对监听到的媒介访问控制消息中携带的资

发布时间: 2012-07-11

一种矩阵简化方法、降噪方法及装置

本发明实施例公开了一种矩阵简化方法及装置、降噪方法及装置,用于提高降噪效率。本发明实施例降噪方法包括:根据初始信道估计结果,数据子载波信息以及虚子载波信息计算降噪矩阵,所述数据子载波信息用于指示所有子

发布时间: 2012-07-11

目标探测方法及相关设备

本发明涉及目标检测技术,公开了一种目标探测方法及相关设备,其中一种目标探测方法包括:接收来自数据融合中心的发送功率值,所述发送功率值由所述数据融合中心根据无线信道系数计算获得;判断目标的有无,获得判断

发布时间: 2012-07-11

可实现敏感生化膜应力释放的柱状电极阵列结构及其制备方法

本发明提出一种可实现敏感生化膜应力释放的柱状电极阵列结构及其制备方法,用于基于梁结构的谐振式痕量质量传感器。该结构包括梁结构、设置于梁结构上的若干微型柱状电极、设置于微型柱状电极上的<111>晶向占优

发布时间: 2011-06-22

双码盘检测经纬仪高度轴轴端偏摆的方法

双码盘检测经纬仪高度轴轴端偏摆的方法,属于天文技术领域,解决了现有测量经纬仪高度轴偏摆的轴准直仪结构复杂、数据处理周期长的问题,包括以下步骤:步骤1,在经纬仪的高度轴的两端,分别设置一号码盘和二号码盘

发布时间: 2013-01-02

真空吸热管吸热器的塔式太阳能热发电系统

一种真空吸热管吸热器的塔式太阳能热发电系统,其特征在于以水/蒸汽为传热流体,熔融盐为蓄热介质。由定日镜(1)、支撑塔(2)、吸热器(3)、汽轮机(4)、发电机(5)、除氧器(6)、凝汽器(7)、给水泵

发布时间: 2013-01-02

基于空间像线性拟合的投影物镜波像差检测系统和方法

一种用于光刻机的基于空间像线性拟合的投影物镜波像差检测系统和方法。本发明采用6个方向孤立空作检测标记,通过对检测标记空间像的线性拟合来得到波像差。本发明首先建立描述0°孤立空空间像与泽尼克像差关系的线

发布时间: 2013-01-02