一种光刻机投影物镜偏振像差原位检测方法，所述检测方法使用的检测系统包括光源、照明系统、掩模台、包含检测标记的掩模、投影物镜、工件台、像传感器、用于掩模台与工件台的定位系统、数据处理系统及反馈控制系统。
发布时间： 2013-07-10
本发明涉及一种两自由度高速并联扫描平台及垂直度误差校准方法，包括机壳和安装于机壳内的直线驱动机构、反射镜轴机构、反射镜活动框架和PSD位置传感器。本发明实施例提供的一种两自由度高速并联扫描平台采用单反
发布时间： 2013-07-10
本发明提出一种直角反射棱镜棱脊高精度调平装置及其调平方法，该装置包括直角反射棱镜组、转接板、手调螺钉、水准泡组、磁性表座和具有铁磁性的基座，其中直角反射棱镜组由待调平的直角反射棱镜以及用于固定该直角反
发布时间： 2013-07-10
本发明涉及一种基于Pattern时延编码水下声定位的时延估计方法，包括：确定发射Pattern信号的信号形式、脉冲时延差和位置信息的编码对应关系；构建所对应相关运算的复本信号；在接收信号中分别截取Pa
发布时间： 2013-07-10
本发明公开了一种用于分置式杜瓦与制冷机低温热耦合的弹性结构和实现方法。用于分置式杜瓦与制冷机低温热耦合的弹性结构主要由冷链座、冷帽、弹簧、固定销和导热硅脂组成。本发明在分置式杜瓦与制冷机低温热耦合的弹
发布时间： 2013-07-10
本发明涉及遥感图像处理技术领域，具体涉及一种基于多传感器的地表二向反射特性反演方法及系统。该方法包括步骤：S1.提取反演周期内多传感器的观测数据；S2.结合所述步骤S1中提取的观测数据，使用波段转换构
发布时间： 2013-07-10
本发明涉及岩石断裂韧度测试领域，尤其涉及用于岩石断裂韧度测试的施力点位移检测装置及检测方法。该检测装置包括轭架、两个位移传感器和夹具；所述夹具包括底座、设置在所述底座上的第一金属块和第二金属块；一个所
发布时间： 2013-07-10
本发明公开了一种黄绿蜜环菌的深层发酵技术及其应用，所述黄绿蜜环菌的深层发酵方法包括以下步骤：采集野生黄绿蜜环菌子实体，分离纯化菌种；纯化的黄绿蜜环菌菌种进行优良菌种筛选；筛选的优良种菌进行驯化培养，培
发布时间： 2013-07-10
本发明提供了一种反应等离子喷涂制备碳化硼涂层的方法，包括如下步骤：步骤(1)，选取碳化硼粉，并将碳化硼粉送入等离子体喷涂设备；步骤(2)，对被喷涂的基材表面进行预处理；步骤(3)，通过反应等离子体喷涂
发布时间： 2013-07-10
本发明公开了一种纤维素酯接枝脂肪族聚酯共聚物的制备方法。该方法包括如下步骤：1)以纤维素为原材料，首先制备出纤维素/离子液体溶液；2)在纤维素/离子液体溶液中进行纤维素的均相酰化反应，得到部分取代的纤
发布时间： 2013-07-10