一种光刻机的自动调焦方法，涉及包括图像的平均调焦评价函数的计算方法和调焦机构的自动运行方法。其中平均调焦评价函数的计算方法主要采用分块的形式，以变步长平移子块，粗调焦时平移步长增大，细调焦时平移步长减
发布时间： 2013-08-21
本发明公开了一种双腔准分子激光器整机框架系统，所述双腔准分子激光器包括有主振荡放电腔、功率放大腔以及与该两个腔体相关的光学系统，所述系统包括安装基座(1)、基础框架(2)、光学系统框架(3)和放电腔框
发布时间： 2013-08-21
本发明公开了一种太阳能电池非晶硅与多晶硅薄膜界面的钝化方法及应用该方法制备n型多晶硅薄膜SPA结构的HIT电池的方法，其中太阳能电池非晶硅与多晶硅薄膜界面的钝化方法，是采用等离子体增强化学气相沉积的方
发布时间： 2013-08-21
本发明公开了一种溶剂辅助电喷雾离子化装置及使用该装置实现电喷雾离子化的方法。所述装置包括电喷雾通道和样品引入通道，所述的电喷雾通道的轴线与样品引入通道的轴线间的夹角为锐角、与质谱进样通道的轴线间的夹角
发布时间： 2013-08-21
本发明公开了一种用于高温超导电流引线中与高温超导叠直接搭接的迫流冷却低温段，包括有高温超导叠、冷端铜结构件，低温超导线、铜芯管，铜接头。高温超导叠与低温超导线实现直接锡焊连接；高温超导叠与低温超导线沉
发布时间： 2013-08-21
本发明公开了一种宽频带双圆极化馈源，此馈源应用在新一代厘米-分米波射电日像仪低频阵抛物面上。该日像仪由40面频带为0.4～2GHz和60面频带为2～15GHz的单反射面天线组成，具有高空间、高频率和高
发布时间： 2013-08-21
本发明公开了一种选区外延单片集成的波长转换器及其制作方法。该选区外延单片集成的波长转换器报考分布反馈DFB激光器、电吸收调制器EAM、光探测器PD和光放大器SOA四个子器件；其中，所述SOA与PD之间
发布时间： 2013-08-21
小型柱面镜多光栅光谱分析的光学系统，属于光学设计技术领域，为解决现有的光栅光谱仪采用狭缝作为系统光阑使得系统的能量利用率低的问题，该光学系统：光源发出的光经过光纤耦合后，光入射到胶合透镜Ⅰ上，光由发散
发布时间： 2013-08-21
一种硅基高迁移率沟道CMOS的制备方法，包括：在硅衬底上生长锗层；将其放入MOCVD反应室中，进行第一次退火；在锗层上依次生长低温砷化镓成核层和高温砷化镓层，形成样品；将样品进行抛光，同时清洗MOCV
发布时间： 2013-08-21
一种基于潮汐过程的海岛礁动态可视化方法，其特征在于，依据用户设定的区域和时间域，从基础地理信息数据库中提取对应区域的地形、水深等数据，获取或生成该区域的DEM，根据该区域和时间域的潮汐表生成一定时间段
发布时间： 2013-08-21