本发明提供一种三维热电能量收集器及其制作方法，通过在低阻硅上刻蚀出多个凹槽及凹槽之间的硅柱，然后在凹槽表面形成绝缘层，并通过薄膜沉积技术制作热电柱，藉由所述热电柱与相邻的硅柱组成热电偶对，接着通过刻蚀
发布时间： 2013-09-11
本申请公开了一种X射线探测器及其制造方法。该X射线探测器，包括：互连基板；穿透互连基板并在其两个主表面上露出的键合互连；与互连基板的一个主表面键合的光电转换器件芯片；以及与互连基板的另一个主表面键合的
发布时间： 2013-09-11
本发明实施例公开了一种模数转换器，包括石墨烯器件的多路分配器，其中，所述多路分配器包括多条石墨烯通道及栅，所有石墨烯通道的一端连接在同一个端点，该端点接模拟输入信号，石墨烯通道的另一端分别接不同的输出
发布时间： 2013-09-11
本发明提供了一种管式固体氧化物燃料电池的发电单元、电池堆及其组装方法，所述发电单元包括单电池、合金基座、燃料气体进气管和燃烧尾气出气管，所述合金基座上设置有贯通两端的腔体，腔体的一端供单电池底部插入，
发布时间： 2013-09-11
本发明实施例公开了一种石墨烯器件，包括多条石墨烯通道及栅，其中，所有石墨烯通道的一端连接在同一个端点，所有石墨烯通道与栅接触电连接，石墨烯通道与栅的夹角互不相同。由于不同的石墨烯通道的入射波角度不同，
发布时间： 2013-09-11
本发明提供一种空间激光干涉系统激光指向控制技术的模拟方法，包括如下步骤：产生准直、单色、偏振态、强度及相位可控的线偏振入射激光和本地激光；通过激光指向抖动模拟系统对入射激光方向调制，用来模拟目标信号方
发布时间： 2013-09-11
本发明提供的物镜波像差检测系统包括激光光源、双物镜波面干涉单元、CCD及与所述CCD电性连接的控制计算机。双物镜波面干涉单元包括第一分束棱镜、第一反射镜、参考物镜、玻片、待测物镜、第二分束棱镜及第二反
发布时间： 2013-09-11
本发明公开了一种功率MOSFET器件串联电阻的测试电路，属于半导体器件测试技术领域。所述测试电路包括脉冲发生器、相位显示器、电压波形数字转换器、电流波形数字转换器、可调电感、第一选通开关和第二选通开关
发布时间： 2013-09-11
本发明提供一种微型热电能量收集器及其制作方法，在低阻硅衬底上制作环状沟槽以围成硅热电柱结构，然后在环状沟槽制作绝缘层，再对其填充热电材料以形成环形热电柱结构，然后制作金属布线、保护层以及支撑衬底等以完
发布时间： 2013-09-11
本发明涉及半导体制备技术，尤其是提供一种解理装置，用于将半导体巴条解理为若干个芯片，其包括：一负压源，以及，一吸附腔体，通过一连接管与所述负压源连接；所述吸附腔体包括第一上盖和第二上盖，所述第一上盖与
发布时间： 2013-09-11