本发明公开了一种键合装置,包括:压力罩和贴合于所述压力罩开口处的弹性压力膜。由于弹性压力膜可以跟随所接触物体的表面而形变,以使弹性压力膜上的压强相同,因此弹性压力膜可以均匀的对第一待键合物施加压力。当
发布时间: 2013-06-05
一种分子尺度界面SiO2的形成和控制方法,主要包括:界面SiO2生长前的清洗方法;一种分子尺度超薄界面SiO2生长技术;热退火控制高K栅介质与界面SiO2反应,以进一步减薄界面SiO2;在工艺集成过程
发布时间: 2013-06-05
本发明公开了一种模块化离子注入机控制系统,包括电源系统,反应腔室、预抽腔室、主控制器、第一真空控制器、送片控制器、压力控制器、第二真空控制器及气体控制器;所述主控制器与所述第一真空控制器、送片控制器、
发布时间: 2013-06-05
本发明提供一种无磁性热退磁炉,具有用来容纳待退磁样品的炉膛(4),炉膛(4)中设有通电时产生零电磁场的电热炉丝(101)。通电加热时不产生因通电电流引起的干扰磁场。
发布时间: 2013-06-05
一种位线选通装置,包括十七个选通单元、十个控制信号单元、九条位线、四个信号提供单元,所述选通单元有三个连接端口:控制信号单元连接端、位线连接端以及信号提供单元连接端,一个或两个所述选通单元的所述控制信
发布时间: 2013-06-05
本发明公开了一种快速检测II型红外超晶格界面质量的光谱方法和装置。该装置包括具有步进扫描功能的傅里叶变换红外测量系统、作为泵浦光源的激光器、变温变磁场样品测量系统、以及联接傅立叶变换红外光谱仪中探测器
发布时间: 2013-06-05
本发明实施例公开了一种三维层叠存储器,包括:衬底;衬底上的多层堆栈沟道,所述多层堆栈沟道包括交替层叠的半导体层和介质层,其中,所述半导体层的宽度大于介质层的宽度;覆盖所述多层堆栈沟道外表面的栅堆栈;在
发布时间: 2013-06-05
本发明属于天文仪器领域,特别涉及一种用于古代水运仪象台的报时控制装置结构。包括木阁、天轮、拨牙机轮、昼时钟鼓轮、时初正轮、报刻司辰轮、更筹轮、夜箭轮、报时支座和报时轴;木阁从上到下分为第一层至第五层,
发布时间: 2013-06-05
本发明是基于像散分解获得望远镜主次镜对准误差的方法,首先,测得次镜四个失调量与由泽尼克多项式表示的出瞳波前误差像散项系数和慧差项系数之间的比例系数;然后,测量实时出瞳波前误差,将次镜的失调量dx和ty
发布时间: 2013-06-05
本发明提出了一种大口径大径厚比反射镜面形自准直检测装置,包括光源与聚光镜光轴同轴,聚光镜放置在光源的传播方向,分划板放在光源的像平面处,分光镜放置在分划板之后,光源提供的参考光经分光镜反射后向右传播至
发布时间: 2013-06-05