一种基于拼接光栅莫尔条纹相位解调的纳米光刻对准方法。该方法以拼接光栅那作为掩模、工件台对准标记，以莫尔条纹相位信息为掩模-工件台对准偏差的载体，通过多像素点的相位提取直接计算出掩模和基片的对准偏差，从
发布时间： 2014-06-04
本发明公开了一种提高分立式微变形镜填充因子的方法，包括一个微缩束镜阵列和一个分立式微变形镜。其特征在于微缩束镜阵列与分立式微变形镜具有相同的单元间距，入射光经过微缩束镜阵列之后被分割并缩束，形成一个光
发布时间： 2014-06-04
本发明公开了一种用于i线大面积平板投影光刻机的物镜，其采用了双远心、28片4组对称结构，其中使用了2个低阶非球面。本设计的像方有效视场可以达到132×132mm，像方数值孔径能提高至0.17以弥补国内
发布时间： 2014-06-04
本发明公开了一种利用CCD天顶望远镜进行地面快速天文定位的方法。该方法利用CCD天顶望远镜对观测点天顶附近天区的恒星进行两次成像(两次成像之间望远镜镜筒绕旋转轴旋转180°)，通过对所拍摄的两幅恒星图
发布时间： 2014-06-04
本发明公开了一种线性压缩机气阻密封结构，该结构包括圆筒形气缸及其配合的活塞。所述气缸的内筒分为直径不同的两段，靠近缸头的第一段直径较小，远离缸头的第二段直径略大。所述活塞具有两段凸台，靠近活塞头的第一
发布时间： 2014-06-04
本发明公开了一种OSWBC11蛋白在培育水稻雄性不育系中的应用。本发明提供了沉默或失活目的植物中OSWBC11蛋白编码基因表达的物质在培育雄性不育植物中的应用。上述应用中，所述OSWBC11蛋白的氨基
发布时间： 2014-06-04
本发明涉及生物基因工程技术领域，具体的说是一种向微拟球藻叶绿体中导入外源DNA的方法及相关的叶绿体基因组序列。基因序列包括SEQID?NO:1所示的序列、SEQ?ID?NO:2所示的序列以及插入两者之
发布时间： 2014-06-04
一种离子液体中燃油萃取氧化脱硫的方法是将离子液体、催化剂与燃油按比例混合后加入高压釜中，离子液体与燃油的体积总和与高压釜的体积比为3:6～10，密封后通入氧气，置换三次后使氧气压力达到0.1MPa～0
发布时间： 2014-06-04
本发明涉及含有非线性光学发色团的聚碳酸酯及其合成方法和应用。本发明通过二氯甲酸酯和含有双羟基的非线性光学发色团的共聚，成功的将非线性光学发色团分子引入到了聚碳酸酯的聚合物链段中，同时通过引入双酚单体调
发布时间： 2014-06-04
一种硼铍酸盐化合物MBe2B5O11，M为Gd或La，MBe2B5O11
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2014-06-04