本发明公开了一种光刻工艺窗口的测量方法，包括：提供一晶圆，所述晶圆具有通过光刻聚焦值与曝光能量矩阵形成的多个阵列排布的待测结构；通过电子束显微镜获取所述待测结构的线条成像图；通过多像素阈值方法对所述线
发布时间： 2017-01-11
本发明涉及以ZnO和Ga2O3粉末为前驱体、导电材料为基底，在水汽辅助条件下，氮化合成高效GaN:ZnO电极。在水汽辅助下，采用高温原位氮化，制得多孔的Ga
发布时间： 2017-01-11
本发明提供的基于空间域相位校正的孔隙成像方法及装置，对构建的相位对于投影数据的干扰模型建立空间域的离散化算子方程，并通过吉洪诺夫正则化方法及迭代法对所述离散化算子方程进行求解，得到了具有较高分辨率、结
发布时间： 2017-01-04
本发明公开了一种氢氧化钾的制备方法，包括步骤：A、将氢氧化物加热至不超过300℃进行熔融，获得熔融物；B、将粉碎后的富钾岩石与碱性熔融助剂置于熔融物中，继续加热至不超过600℃，保温0.5h～5h获得
发布时间： 2017-01-04
本发明公开了一种生产高纯度高活性钒电解液的系统及方法，采用流化床气相铵化将高纯度的三氯氧钒转化为铵盐，其后在另一流化床中将铵盐还原为钒平均价态为3.5的低价钒氧化物，配加洁净水和硫酸溶解，并进一步采用
发布时间： 2016-12-28
一种环形炉膛循环流化床锅炉，包括：炉膛；两组旋风分离器，分别设置在两个侧墙外侧，每组旋风分离器具有3个旋风分离器，各旋风分离器的筒体结构和尺寸均相同，其中：在横过所有炉膛烟气出口中心点的平面中，一组分
发布时间： 2016-12-07
本发明提供了一种氮硫共掺杂石墨烯及其制备方法与应用。该氮硫共掺杂石墨烯的原料组成包括含有亲水基团的氮硫化合物、氧化石墨烯和绿色还原剂，该含有亲水基团的氮硫化合物、氧化石墨烯和绿色还原剂的质量比为(1?
发布时间： 2016-11-09
本发明涉及一种MWW/MEL共结晶分子筛及其制备方法，目的在于提供兼具MWW和MEL分子筛优势的新催化材料。所述共结晶分子筛含有MWW和MEL两种构型分子筛的晶体结构，其焙烧样的X射线衍射(XRD)谱
发布时间： 2016-11-02
本发明涉及一种大气压弥散放电装置及金属表面沉积类SiO2薄膜方法。一种大气压弥散放电装置，包括：针电极，其竖直放置，所述针电极的顶端连接高压脉冲电源；金属基底，设于所述针电极的下
发布时间： 2016-10-12
本发明涉及一种用于催化甲醇脱水制备二甲醚的反应分离双功能催化膜反应装置及其应用。具体地，所述反应装置包括内腔和外腔，所述内腔从内到外依次包括：多孔基体、结合于所述多孔基体表面的第一分子筛膜和结合于所述
发布时间： 2016-10-12