本申请公开MEMS晶圆切割方法及MEMS芯片制作方法,MEMS晶圆切割方法包括:将提供的MEMS晶圆贴在第一贴膜上,使MEMS晶圆上的MEMS芯片元件区位于第一贴膜的镂空区内;对MEMS晶圆背离MEM
发布时间: 2017-05-24
本发明公开了一种GaN基激光器和超辐射发光二极管及其制备方法。所述激光器和超辐射发光二极管的脊型结构通过外延生长直接形成,其包括表面分布有条形台阶结构的衬底,设置在所述衬底上并包覆所述条形台阶结构的、
发布时间: 2017-05-24
一种基于时间关联的三维成像装置和成像方法,该三维成像装置由激光器、光强调制器、激光扩束镜、接收望远镜、面阵探测器和工控机组成,基于该三维成像装置的时间关联三维成像方法的实现途径包括三步,第一步通过单次
发布时间: 2017-05-24
本申请提供一种半导体器件及其制作方法,在形成刻蚀膜之前增加一层截止膜,截止膜的刻蚀速率低于刻蚀膜的速率。在对刻蚀膜进行刻蚀时,刻蚀速率快的部分,刻蚀膜首先被刻蚀完成,此时开始刻蚀截止膜;而刻蚀速率较小
发布时间: 2017-05-24
本发明公开了一种单一离子液体一步法去除秸秆木质素和半纤维素的方法,该方法中离子液体是多羟基质子型铵盐类离子液体,其特征在于:在温度80?160℃,时间0.25?24h,木质纤维素材料质量分数5%?10
发布时间: 2017-05-24
本发明公开了一种超导体-绝缘体-金属异质薄膜材料为层状结构,包括金属铪基底层、五碲化铪膜结构层和三碲化铪膜结构层,该层状结构在二维平面内扩展。制备方法:在真空环境下,将适量高纯度碲蒸发沉积到过渡金属铪
发布时间: 2017-05-24
本发明公开一种激光雷达探测大气垂直能见度的计算方法,包括以下步骤:获取激光雷达垂直测量的原始回波信号并判断原始回波信号中是否有云;在无云信号时,采用Fernald方法计算大气垂直消光系数;剔除大气垂直
发布时间: 2017-05-24
本发明公开了一种极光测量仪器控制方法及系统,方法包括:接收卫星广播的定位参数;根据所述定位参数中的时间参数进行时间转换,获得由地理坐标系到地磁坐标系的坐标转换参数;根据所述定位参数中的地理坐标、所述坐
发布时间: 2017-05-24
本发明公开了一种应用于评估微藻二氧化碳耐受力的方法及装置,步骤是:A、培养基配制:培养基依据目标藻株定,灭菌;B、目标藻株活化扩种:在光生物反应器中活化并扩种目标藻株;C、目标藻株接种:确定接种量后对
发布时间: 2017-05-24
本发明提出一种减小球面镜面形误差测量中机械移相误差的方法,该方法所利用的测量系统包括:干涉仪、球面标准镜、标准球面波、待测球面镜和五维调整台,该方法根据待测球面镜的NA大小以及移相误差的控制要求将待测
发布时间: 2017-05-24