一种光刻机匹配方法，以三维空间像关键尺寸作为描述光刻机成像性能的参数，通过同步调谐光刻机的照明系统和投影物镜可调参数，利用阻尼最小二乘优化算法求解可调参数的值，实现光刻机快速匹配。本发明提高了现有方法
发布时间： 2018-06-15
本发明涉及偏振定标检测，提供一种偏振定标装置的安装平行度检测方法，用于检测偏振定标装置内各偏振片的安装平行度，非偏振平行光源入射系统发出非偏振光束，非偏振光束经偏振定标装置入射至探测仪器，探测仪器的靶
发布时间： 2018-06-15
本发明提供一种侧装式弯曲元的安装定位装置及方法，装置包括压帽(1)、底座(2)、橡皮膜(3)、试样(4)、定位耳(5)、弯曲元(7)、定位底座(8)、定位支架(12)；所述的定位支架(12)安装于定位
发布时间： 2018-06-15
本发明提供了一种基于显著图像块分析的图像运动模糊去除方法，涉及图像处理领域，本发明生成超像素，利用基于密度的聚类算法融合成一个超像素，以超像素为单位进行兴趣图计算；获得所有图层的兴趣图后，将兴趣图按权
发布时间： 2018-06-12
本发明涉及高轨道空间光学遥感器入光口太阳遮蔽技术领域，具体公开一种光学遥感器遮光罩，包括拦光环组件、伸展机构、驱动机构和环形柔性壁面。卫星入轨前，光学遥感器遮光罩处于压缩状态，各级拦光环之间的壁面处于
发布时间： 2018-06-12
本发明属于信号传输缆线与数据线技术领域，具体涉及一种织物结构线缆及采用其的数据线和制作其的方法，该线缆包括由柔性导电部和柔性绝缘部，柔性导电部沿柔性绝缘部的绕卷轴轴向布设；柔性导电部设置为不少于一条的
发布时间： 2018-06-08
本发明公开了一种真空抽气系统，包括有等离子体腔室、等离子驱动源、真空泵和多段连接管道，真空泵的进气管与被抽工件之间通过真空管道连接，且真空管道上设置等离子体腔室，等离子体腔室内在等离子体驱动源的激励作
发布时间： 2018-06-08
本发明涉及一种基于Pt纳米颗粒修饰GaN纳米线的紫外光电探测器及其制造方法，属于光电探测器领域。本发明是通过化学气相沉积技术在蓝宝石衬底上生长GaN纳米线阵列，然后在GaN纳米线阵列上沉积一层Pt纳米
发布时间： 2018-06-05
本发明提供了一种低温辐射计用激光光束定位及控制系统，激光光束依次经过所述第一直角棱镜、第二直角棱镜、平面反射镜通孔、真空窗口和视场光阑进入所述低温辐射计接收腔内；所述平面反射镜倾斜设置，所述激光光束的
发布时间： 2018-06-01
本发明涉及质谱分析仪器，具体说是一种用于质谱分析的基于射频分段四极杆聚焦增强的紫外光电离源，其具体结构包括，电离源腔体，真空紫外灯、推斥电极、气体进样管、分段四极杆以及差分电极。本电离源利用四极杆在中
发布时间： 2018-05-29