一种极紫外光刻掩模多层膜相位型缺陷底部形貌检测方法。该方法包括建模和检测两部分。在建模阶段，首先利用光刻仿真软件仿真含多层膜相位型缺陷的空白掩模在不同照明条件下的空间像。然后采用傅里叶扫描相干衍射成像
发布时间： 2018-12-18
本发明公开了一种电容式压力传感器，包括衬底层、绝缘层、器件层以及封装层。其中，衬底层具有可动极板区；绝缘层位于衬底层上方，绝缘层包括第一腔体，第一腔体位于可动极板区的上方，并贯穿绝缘层；器件层位于绝缘
发布时间： 2018-12-21
本发明公开了一种改善UNS?N10003合金抗碲腐蚀性能的方法，所述UNS?N10003合金的质量百分比成分为：6%?8%Cr，15%?17%Mo，≤5%Fe,≤1%Si,≤0.8%Mn,≤0.08%
发布时间： 2018-12-21
本发明涉及一种2XXX铝及铝合金表面高耐磨自润滑微弧氧化膜层的制备方法。该方法包括直流富铜钝化膜层的制备和交流α?Al2O3自润滑致密膜层的烧结。直流富铜钝
发布时间： 2018-12-18
本发明总体涉及一种多光谱双目视觉系统，具体地涉及基于镀膜式多光谱相机的立体视觉系统及其标定测距方法。本发明利用马赛克镀膜的视频多光谱探测器构建具备多光谱双目测距功能的立体视觉系统，以及针对多光谱图像设
发布时间： 2018-12-18
本公开提供了一种隧道结光子晶体激光器，包括：衬底；以及在所述衬底上依次形成的多个叠层结构；其中，每个所述叠层结构包括有源层以及光子晶体层，且在相邻的所述叠层结构之间形成有隧道结。本公开隧道结光子晶体激
发布时间： 2018-12-18
本方法涉及快速高效的检测大气细颗粒物中长寿命有机自由基，大气颗粒物样品无需溶剂萃取。本方法是为了解决检测大气细颗粒物中持久性有机自由基的传统方法效率低的问题。本方法包括：一、将滤膜在采集大气颗粒物前后
发布时间： 2018-12-21
本发明公开了一种测量闪烁体探测器位置信息的方法，其步骤包括：1)选取一正电子放射性点源；2)沿着核成像系统的中心轴，在设定的轴向范围内，使所述正电子放射性点源运动，记录所述正电子放射性点源在每个设定位
发布时间： 2018-12-18
本发明涉及农机具的生产加工领域，具体地说是一种高强度、高韧性犁柱的制造方法。采用热冲压成型与淬火一体化工艺，同时完成犁柱的成型与淬火。将机加工好的犁柱坯料加热到奥氏体化温度，保温一定的时间后迅速转入成
发布时间： 2018-12-18
本发明涉及一种声波测井各向异性刻度装置及方法，所述装置包括刻度装置和测井仪器，其中刻度装置是由四块两种不同纵横波传播速度的材料所组成，四块两种材料两两间隔粘牢放置且相邻彼此的材料不同；刻度装置中心位置
发布时间： 2018-12-18